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深能级瞬态谱DLTS),X射线衍射等方法分别研究了退火前后双金属复合耐磨管材料的性质和缺陷结果表明受高温热激发作用部分铁原子由替位转变为填隙,导致InP材料缺少深能级补偿中心而发生导电类型转变通过比较掺杂扩散和离子注入过程Fe原子的占位和情况分析了这一现象的机理和产生原因包括双金属复合耐磨管团状结构位错的产生及其对晶格完整性的影响,坑状缺陷晶片抛光损伤和残留杂质的清洗腐蚀等对双金属复合耐磨管缺陷的形成原因和抑制途径进行了分析在此基础上获得了“开盒即用EPI-READY)”具有良好晶格完整性。
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